Nanoscribe是德国的3D打印机制造商，并为客户提供软件和光阻剂，该公司以纳米级和微米级的微3D打印技术而闻名，他们不断的创新以满足客户的需求。最近，他们在美国的哈佛大学开了第一次用户大会，在大会上，Nanoscribe公司介绍了等离子体在该公司技术解决方案中的作用。

  Nanoscribe指出，由于电子束光刻或激光直写的作用，等离子体通常是平坦的分子表面，为此，该公司的Photonic Professional GT系统不仅能够进行立体光刻，还能够使用等离子技术制造2.5D聚合物纳米或微米结构，而该结构可以进行金属化应用。

  那么使用这种等离子体技术可以做出什么令人印象深刻的事物呢？我们可以看到，下图就是用很薄的金膜在分子尺度上制造的金字塔，以及一个蚀刻掩模样品。

  Nanoscribe最近发布的应用说明也与该主题相关，该说明书概括介绍了他们的3D打印机，并称他们的打印机能提供世界上最高的分辨率。据天工社了解，该3D打印机可以同时在无菌和非无菌环境中使用，Nanoscribe为科研需求开发出了这款高性能的硬件。无掩模光刻中可以同时使用硅片和玻璃。

等离子的作用可以通过以下方面来体现：

  制作完全吸收体——3D打印一个在中红外光谱（MID-IR）中的超材料吸收器。用户用它打印了四个鱼叉状镀锡的共振器。因为覆盖了金属膜，所以其导热率高。

  等离子彩色显示——开发一个基于表面等离子体共振的、用于电子调节颜色的反射型显示器，有用户利用该功能制作了一个2.5D主图案阵列的纳米孔。Nanoscribe还提供了其他工艺，如纳米压印、铝涂层和液晶放置等。

 

  亚波长的光聚焦——用户制作了一个中空的金字塔，并用“新方法”镀金。这种“新方法”是使用相对于亚波长光聚焦的更强信号。

 

  制作等离子纳米天线——为用户提供了一个更方便地制造等离子纳米天线的方法，而不是采用电子束光刻。使用光子专业GT 3D打印机，用户能够使聚合物形成图案，然后制作一个蚀刻黄金掩模。

 

  对于那些有兴趣于微制造的人来说，Photonic Professional GT 3D打印机是一个很好的开始。通过简单的3D微打印工作流程，微小零件可以被快速地创建。据Nanoscribe介绍，这使得虚拟3D模型可以被用于医学、光学、应用流体学、机械学等诸多应用。

 

Photonic Professional GT 3D打印机的其他亮点包括：

 

分辨率最高的商用微型3D打印机

 

基于振镜技术的高速3D打印

 

精确的压电技术

 

各种UV光致抗蚀剂的双光子聚合（2PP）

 

普通的色调光致抗蚀剂的双光子光刻

 

写入区域的范围可达100×100毫米

 

可通过高灵敏度显微镜相机来实时观察印刷过程

 

用于3D打印工作流程的用户友好软件包